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2009
使用MetalMUMPs技術製作靜電旋轉平台和一維電熱致動器以及多維度之微機電電熱夾
Electrostatic In-plane Comb-drive Rotational Platforms, 1-D Vertical Electrothermal Actuators, and Multiple DOFs MEMS Gripper Fabricated by the MetalMUMPs Process
Dian-Sheng Chen; 陳典聖
光電工程學研究所
2009
磁驅動微夾持裝置的設計與雙感測模態微加速計的特性量測
Magnetic Micro Gripper Design and Characterization of Dual-Sensing-Mode Micro Accelerometers
Yao-Tien Chang; 張耀天
光電工程學研究所
探索
系所
2
光電工程學研究所
學位
2
碩士
作者
1
dian-sheng chen
1
yao-tien chang
1
張耀天
1
陳典聖
關鍵字
2
mems
2
微機電
1
mems,mems gripper
1
mems,mems gripper,electrostatic a...
1
mems,mems gripper,electrostatic a...
1
mems,mems gripper,electrostatic a...
1
mems,mems gripper,electrostatic a...
1
mems,mignetic gripper
1
mems,mignetic gripper,dual-sensin...
1
微機電,磁驅動夾子
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