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2020
用於提升微機電側邊量測精準度之原子力顯微鏡新式掃描方法
Novel Enhancement of Steep Sidewall Scan in AFM for MEMS Inspection
Ching-Chi Huang; 黃靖期
電機工程學研究所
探索
系所
1
電機工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
ching-chi huang
1
黃靖期
關鍵字
1
atomic force microscope (afm)
1
atomic force microscope (afm),sid...
1
atomic force microscope (afm),sid...
1
atomic force microscope (afm),sid...
1
原子力顯微鏡
1
原子力顯微鏡,側邊掃描
1
原子力顯微鏡,側邊掃描,疊代學習控制
1
原子力顯微鏡,側邊掃描,疊代學習控制,支撐向量機
1
原子力顯微鏡,側邊掃描,疊代學習控制,支撐向量機,蟻群演算法
出版年
1
2020
全文授權
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