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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2007 | 以垂直梳型致動器驅動之雙軸旋轉微鏡片之線性化 Linearization of a Two-Axis MEMS Scanner Driven by Vertical Comb-Drive Actuators | Li-Cheng Lu; 呂理誠 | 光電工程學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2007 | 以垂直梳型致動器驅動之雙軸旋轉微鏡片之線性化 Linearization of a Two-Axis MEMS Scanner Driven by Vertical Comb-Drive Actuators | Li-Cheng Lu; 呂理誠 | 光電工程學研究所 |