瀏覽 的方式: 作者 Chun-Fu Yang
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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2014 | 高輝度與高同調性之光罩缺陷繞射檢測系統應用於13.5 nm極紫外光微影製程之研究 Study of high brilliance and high coherence mask defect diffractive detection system applied on 13.5 nm EUV lithography process | Chun-Fu Yang; 楊淳復 | 工程科學及海洋工程學研究所 |