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NTU Theses and Dissertations Repository
瀏覽 的方式： 作者 Chu-Yi Wang
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作者
系所
2009
整合次波長圓環型孔洞與準分子雷射開發高深寬比光學鑽孔儀的先導性研究：以三維積體電路矽導通孔為應用平台
Developing High Aspect Ratio Optical Drill by Integrating Sub-wavelength Annular Aperture and Excimer Laser: Use 3D-IC TSV as Application Platforms
Chu-Yi Wang
;
王筑顗
應用力學研究所
