瀏覽 的方式: 作者 Chi-Yuan Sun
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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2008 | 利用原子層沉積技術成長光學薄膜於溝槽式矽基板之研究 Study of Optical Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition on Silicon Trench | Chi-Yuan Sun; 孫啟元 | 材料科學與工程學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2008 | 利用原子層沉積技術成長光學薄膜於溝槽式矽基板之研究 Study of Optical Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition on Silicon Trench | Chi-Yuan Sun; 孫啟元 | 材料科學與工程學研究所 |