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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2012 | 以不同的四烷基氫氧化銨為鹼性試劑製備孔洞型二氧化矽低介電薄膜 Preparation of Porous Silica Low-k Film by Using Different Tetraalkylammonium Hydroxide | Han-Yeou Huang; 黃瀚友 | 化學工程學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2012 | 以不同的四烷基氫氧化銨為鹼性試劑製備孔洞型二氧化矽低介電薄膜 Preparation of Porous Silica Low-k Film by Using Different Tetraalkylammonium Hydroxide | Han-Yeou Huang; 黃瀚友 | 化學工程學研究所 |