瀏覽 的方式: 作者 洪榮泰
顯示 1 到 1 筆資料,總共 1 筆
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2006 | 分子動力學模擬於大馬士革製程中銅沉積與微結構之研究 Study on Trench-Filling and Microstructure of Copper Damascene Process via Molecular Dynamics Simulation | Rong-Tai Hong; 洪榮泰 | 機械工程學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2006 | 分子動力學模擬於大馬士革製程中銅沉積與微結構之研究 Study on Trench-Filling and Microstructure of Copper Damascene Process via Molecular Dynamics Simulation | Rong-Tai Hong; 洪榮泰 | 機械工程學研究所 |