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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2009 | 以DRIE技術及SOI晶圓發展體型加工之微機電元件:
以微共振器和多功能光通訊元件為例 Development of Micro-resonator and Dual-function Optical Device Using the DRIE/SOI Process | Hsin-Hong Shen; 沈信宏 | 機械工程學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2009 | 以DRIE技術及SOI晶圓發展體型加工之微機電元件:
以微共振器和多功能光通訊元件為例 Development of Micro-resonator and Dual-function Optical Device Using the DRIE/SOI Process | Hsin-Hong Shen; 沈信宏 | 機械工程學研究所 |