瀏覽 的方式: 關鍵字 (110)單晶矽,外凸角隅,蝕刻速率,
顯示 1 到 1 筆資料,總共 1 筆
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2006 | 應用(110)單晶矽之外凸角隅量測單晶矽蝕刻速率 Measurement of etch rate through applicatity of Si(110) undercut convex corner | chau-shiung shiu; 許朝雄 | 應用力學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2006 | 應用(110)單晶矽之外凸角隅量測單晶矽蝕刻速率 Measurement of etch rate through applicatity of Si(110) undercut convex corner | chau-shiung shiu; 許朝雄 | 應用力學研究所 |