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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2015 | 電漿增強式化學氣相沈積法成長超晶格結構以製備奈米矽晶及其特性研究 Characterization of Si Nanocrystals in Superlattice Structure Grown by Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition | Chien-Yu Chu; 朱建宇 | 光電工程學研究所 |